Horiba汽化器MV-2000 液体转气体流量计采用新的螺旋流加热方法，即使在低温下也能实现稳定汽化。适用于包含 “High-k”工艺液体在内的一系列液体源的汽化。可实现高沸点液体的稳定汽化。 · 气液混合物汽化方法确保稳定地汽化高沸点液体 · 气液混合部分温度可到MAX140℃ · 蒸发区汽化温度MAX 200℃

Horiba直接注入式汽化器VC-1420能够在无载气的情况下快速汽化纯水或其他液体源，组建更紧凑的汽化系统。 在测试工艺过程中控制气体比例和湿度平衡相当困难，可以通过以下产品达到准确的气体平衡和气体湿度：气体 MFC（SEC-Z512MGX、N112MGX、）、液体 MFM（LF-F20M-A）、汽化器（MV-2000）。