Horiba汽化器MV-2000 液体转气体流量计

Horiba汽化器MV-2000 液体转气体流量计

液体混合注入，汽化能力20g/min（TEOS）

HORIBA 是半导体行业高性能汽化系统的供应商之一。HORIBA 液体源汽化器贯穿整个半导体制程，可以安全有效地将液相化学品以气相形态输送至使用点。无论液态化学品是需要在真空下还是大气压下汽化，HORIBA 的汽化技术都能提供符合要求的汽化系统。包括：汽化器VC系列、汽化器MV系列、汽化器VE系列。

畅销型号：VC-1420、MV-1000、MV-2000、VE-10、VE-30.

MV-2000 系列采用新的螺旋流加热方法，即使在低温下也能实现稳定汽化，实现流量计的流量测量功能。适用于包含 “High-k"工艺液体在内的一系列液体源的汽化。

Horiba汽化器MV-2000 液体转气体流量计可通过使用气液混合物汽化方法快速汽化各种液体源。该方法可实现高沸点液体的稳定汽化。

· 气液混合物汽化方法确保稳定地汽化高沸点液体

· 气液混合部分温度可到MAX140℃

· 蒸发区汽化温度MAX 200℃

· 汽化效率高于传统汽化方法

· 产生更大流量

· 汽化温度降低

测量技术 注入方式
以下是汽化液体源并将其输送到处理室的主要步骤。
1. 载气和液体在控制阀中混合。
2. 液体在蒸发区瞬间汽化。
3. 气体被释放，防止凝结成液态。

技术参数