Horiba直接注入式汽化器VC-1420

直接液体注入系统

在半导体测试工艺过程中控制气体比例和湿度平衡相当困难，可以通过以下产品达到准确的气体平衡和气体湿度：气体 MFC（SEC-Z512MGX、N112MGX、）、液体 MFM（LF-F20M-A）、汽化器（MV-2000）。

Horiba直接注入式汽化器VC-1420能够在无载气的情况下快速汽化纯水或其他液体源，组建更紧凑的汽化系统。

HORIBA 可为您提供由 Horiba直接注入式汽化器VC-1420和您需要的所有其他组件组成的定制汽化系统：

· 一种用于流量测量的液体质量流量计

· 一种用于蒸气流量测量的高温质量流量控制器

· 阀门、过滤器、加热器等

特征

· 尺寸紧凑

· 可安装在各种位置

· 畅销的 TEOS 汽化系统

· 结合 SEF 或 LF，可实现数字控制

· 无需特殊鼓泡罐或汽化罐

· DeviceNetTM 型产品系列

· 符合 RoHS 标准

技术参数

外形尺寸图

HORIBA 是高性能汽化系统的供应商之一。HORIBA 液体源汽化器贯穿整个半导体制程，可以安全有效地将液相化学品以气相形态输送至使用点。无论液态化学品是需要在真空下还是大气压下汽化，HORIBA 的汽化技术都能提供符合要求的汽化系统。包括：汽化器VC系列、汽化器MV系列、汽化器VE系列。

畅销型号：VC-1420、MV-1000、MV-2000、VE-10、VE-30.