Horiba自动压力控制器R600基本特点： 1、控制类型：背压控制 2、压力范围：300kpa 3、阀门类型: 电磁阀（常闭） 4、输出：模拟0-5V或者数字RS485

Horiba质量流量计SEC-8000系列特点： 高精度±1.0%设定点 高速响应 超洁净设计 符合RoHS标准

SEC-Z500X系列 Horiba质量流量计高精度±1.0%设定点。该质量流量控制器的线性度由多项式近似曲线补偿，并实现在所有流量控制范围内的高精度。为提高实际气体精度，不同工艺气体的标定数据由HORIBA STEC公司的标准气体测量系统测量。 高速响应：装配“可变PID系统”，可在任意两个设定点之间实现1秒响应。可变PID根据流量点设置不断变化。

horiba流量计SEC-Z700S可以直接测量管道内流体的质量流量，测量精度为0.2级，流体测量管内部无障碍物和活动部件，因而可靠性高、寿命长。

Horiba SEC-Z700质量流量计SEC-Z714MGX-CS属于高性能数字式质量流量控制器，是半导体中设备CVD机台、Etch机台中的气体控制核心部件

Horiba质量流量计D500系列具有压力非敏感性，自带显示功能，控制范围广，可应对多种气体、多种量程、不同压力条件，适用于高精工艺需求。