UR-Z732M-B控制该压力控制器前端的压力。 horiba数字式压力控制器UR-Z732MB 控制压力范围10-500KPa， 数字通讯 消除后端压力变动对前端腔体压力的影响（入口控制型）

UR-Z722M-B是horiba数字式压力控制器UR-Z700中的畅销款，控制该压力控制器前端的压力。 控制压力范围0.02M-Bar-9.5M-Bar， 数字通讯 消除大流量气路切换引起的串扰影响（出口控制型）

horiba IGS气体质量流量计Z517/Z527MGX IGS接口，EtherCat通讯 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

horiba高精度气体质量流量计Z552/Z562MGX 小量程0-100SLM，大量程0-500SLM 高精度：2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.) 模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

SEC-Z522MGX horiba高精度气体质量流量计Z522/Z532/Z542 小量程0-20sccm，大量程0-200SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

horiba高精度气体质量流量计SEC-Z514MGX/Z524MGX 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.) 数字通讯：DeviceNet

horiba高精度气体质量流量计Z512 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模拟信号输出：0-5VDC，可选数字通讯RS485 F-Net协议

数字式气体质量流量计SEC-Z512MGX、Z522MGX多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供进口Z514、Z524，保修期1年。

SEC-N122MG质量流量控制器Horiba N100 特点：1、最小流量1sccm，最大流量1000SLM；2、最高精度0.3% ；3、不受压力影响；3、可选多种数字通讯：RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。

Horiba气体质量流量计SEC-N172R/SEC-N176R特点： 通讯模式：数字式、模拟式； 满量程范围 ：0-300SLM , 可选0-500SLM，0-1000SLM； 模拟输出、数字通讯二选一。